某半导体器件存储芯片营造厂在晶圆清理进程中,选用硅烷去硅概念诞生,排放洗衣塔诞生高质量浓度含硅生活污水。生活污水具备有pH冲击大(2-11)、硅含水量高的特色,传统意义清理最简单的方法易经常出现硅垢堵住了故障。
废水处理工艺成份及来历
废水处理工艺具体部分为:
溶于性硅酸盐
:SiO₂渗透压达1000-1500mg/L
氢氧化的钾/氢氧化的钠
:洗洁塔酸碱平衡洗洁液使用量
粒状硅
:纳米技术级SiO₂悬浊液
痕量砷
:物料杂物带去
正确处理工艺技术的流程
研发主要包括"有级中合+膜滤水+多效蒸发晶体"技艺:
二级采和
:用CaO调低pH至4-5,提取硅酸钙沉淀物,硅弄掉率60%。
一级结合
:加Na₂CO₃将pH完善至9,进这一步沉积所剩硅,电容串联用镁剂除砷。
反渗透膜系统性
:0.02μm陶瓷图片膜筛选微米级硅粒子,通量安全稳定在80LMH。
MVR蒸馏器
:精炼高盐污废水 ,晶粒出Na₂SO₄副物料,水使用率超90%。
终结郊果
总硅从1500mg/L降到5mg/L一下
砷量从0.8mg/L降到0.01mg/L
系统性无结渣自动运行低于2年
今年收购 磷酸钠晶状体约800吨